Схема вторичного возврата воздуха для системы кондиционирования воздуха

Микроэлектронный цех с относительно небольшой чистой комнатой и ограниченным радиусом возвратного воздуховода, используемый для внедрения схемы вторичного возвратного воздуха системы кондиционирования воздуха. Эта схема также широко используется вчистые комнатыв других отраслях, таких как фармацевтика и медицинская помощь. Поскольку объем вентиляции для удовлетворения требований к влажности в чистом помещении, как правило, намного меньше объема вентиляции, необходимого для достижения уровня чистоты, следовательно, разница температур между приточным и возвратным воздухом невелика. Если используется схема первичного возвратного воздуха, разница температур между точкой состояния приточного воздуха и точкой росы кондиционера велика, требуется вторичный нагрев, что приводит к смещению холодного тепла в процессе обработки воздуха и большему потреблению энергии. Если используется схема вторичного возвратного воздуха, вторичный возвратный воздух может использоваться для замены вторичного нагрева схемы первичного возвратного воздуха. Хотя регулировка соотношения первичного и вторичного возвратного воздуха немного менее чувствительна, чем регулировка вторичного тепла, схема вторичного возвратного воздуха получила широкое признание в качестве меры по экономии энергии при кондиционировании воздуха в небольших и средних чистых цехах микроэлектроники.

Возьмем в качестве примера чистый цех микроэлектроники класса ISO 6, площадь чистого цеха 1 000 м2, высота потолка 3 м. Параметры дизайна интерьера: температура tn = (23±1) ℃, относительная влажность φn = 50% ± 5%; Проектный объем подачи воздуха составляет 171 000 м3/ч, около 57 часов обмена воздуха, а объем свежего воздуха составляет 25 500 м3/ч (из которых объем отработанного воздуха составляет 21 000 м3/ч, а остальное - объем воздуха утечки под положительным давлением). Явная тепловая нагрузка в чистом цехе составляет 258 кВт (258 Вт/м2), соотношение тепла и влажности кондиционера составляет ε = 35 000 кДж/кг, а разница температур обратного воздуха помещения составляет 4,5 ℃. В это время объем первичного обратного воздуха составляет
В настоящее время это наиболее часто используемая форма системы кондиционирования воздуха для очистки в чистых помещениях микроэлектронной промышленности, этот тип системы можно в основном разделить на три типа: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (сухой змеевик) +FFU. Каждый имеет свои преимущества и недостатки и подходящие места, эффект экономии энергии в основном зависит от производительности фильтра и вентилятора и другого оборудования.

1) Система AHU+FFU.

Этот тип системного режима используется в микроэлектронной промышленности как «способ разделения фаз кондиционирования и очистки воздуха». Могут быть две ситуации: одна заключается в том, что система кондиционирования воздуха имеет дело только со свежим воздухом, а обработанный свежий воздух несет всю нагрузку тепла и влажности чистого помещения и действует как дополнительный воздух для балансировки отработанного воздуха и утечки положительного давления чистого помещения, эта система также называется системой MAU+FFU; другая заключается в том, что одного объема свежего воздуха недостаточно для удовлетворения потребностей в холоде и тепле чистого помещения, или потому что свежий воздух обрабатывается из наружного состояния до точки росы, удельная разность энтальпии требуемой машины слишком велика, и часть внутреннего воздуха (эквивалент обратного воздуха) возвращается в блок обработки кондиционирования воздуха, смешивается со свежим воздухом для обработки тепла и влажности, а затем отправляется в приточную камеру. Смешиваясь с оставшимся обратным воздухом чистого помещения (эквивалентно вторичному обратному воздуху), он поступает в блок FFU, а затем отправляется в чистое помещение. С 1992 по 1994 год второй автор этой статьи сотрудничал с сингапурской компанией и привел более 10 аспирантов к участию в проектировании совместного американо-гонконгского предприятия SAE Electronics Factory, которое приняло последний тип системы очистки, кондиционирования и вентиляции воздуха. Проект имеет чистую комнату класса ISO 5 площадью около 6000 м2 (1500 м2 из которых были заказаны Японским атмосферным агентством). Комната кондиционирования воздуха расположена параллельно стороне чистой комнаты вдоль внешней стены и только примыкает к коридору. Трубы свежего воздуха, отработанного воздуха и возвратного воздуха короткие и расположены плавно.

2) Схема MAU+AHU+FFU.

Это решение обычно встречается на заводах микроэлектроники с множественными требованиями к температуре и влажности и большими различиями в тепловой и влажностной нагрузке, а также высоким уровнем чистоты. Летом свежий воздух охлаждается и осушается до фиксированной точки параметра. Обычно целесообразно обрабатывать свежий воздух до точки пересечения изометрической линии энтальпии и линии относительной влажности 95% чистого помещения с репрезентативной температурой и влажностью или чистого помещения с наибольшим объемом свежего воздуха. Объем воздуха MAU определяется в соответствии с потребностями каждого чистого помещения для пополнения воздуха и распределяется по AHU каждого чистого помещения с помощью труб в соответствии с требуемым объемом свежего воздуха и смешивается с некоторым количеством внутреннего возвратного воздуха для обработки тепла и влажности. Этот блок несет всю нагрузку тепла и влажности и часть новой нагрузки ревматизма чистого помещения, которое он обслуживает. Воздух, обработанный каждым AHU, направляется в приточный воздухосборник в каждом чистом помещении, и после вторичного смешивания с внутренним возвратным воздухом он направляется в помещение блоком FFU.

Главное преимущество решения MAU+AHU+FFU заключается в том, что в дополнение к обеспечению чистоты и положительного давления, оно также обеспечивает различные температуры и относительную влажность, необходимые для производства каждого процесса в чистой комнате. Однако часто из-за количества установленных AHU, площадь помещения велика, свежий воздух чистой комнаты, возвратный воздух, трубопроводы подачи воздуха пересекаются, занимают большое пространство, компоновка более хлопотная, обслуживание и управление более сложные и сложные, поэтому никаких специальных требований, насколько это возможно, не требуется, чтобы избежать использования.