Стандартизация чистых помещений

В Соединенных Штатах до конца ноября 2001 года для определения требований к чистым помещениям использовался федеральный стандарт 209E (FED-STD-209E). 29 ноября 2001 года эти стандарты были заменены публикацией спецификации ISO 14644-1. Обычно чистое помещение, используемое для производства или научных исследований, представляет собой контролируемую среду с низким уровнем загрязняющих веществ, таких как пыль, микробы в воздухе, аэрозольные частицы и пары химических веществ. Если быть точным, чистое помещение имеет контролируемый уровень загрязнения, который определяется количеством частиц на кубический метр при определенном размере частиц. В типичной городской среде наружный воздух содержит 35 миллионов частиц на кубический метр диаметром 0,5 микрона или больше, что соответствует чистому помещению ISO 9 на самом низком уровне стандарта чистого помещения. Чистые помещения классифицируются в соответствии с чистотой воздуха. В Федеральном стандарте США 209 (от A до D) количество частиц, равных или более 0,5 мм, измеряется в 1 кубическом футе воздуха, и это количество используется для классификации чистых помещений. Эта метрическая номенклатура также принята последней версией стандарта 209E. Китай использует федеральный стандарт 209E. Более новый стандарт — TC 209 Международной организации по стандартизации. Оба стандарта классифицируют чистые помещения на основе количества частиц в лабораторном воздухе. Стандарты классификации чистых помещений FS 209E и ISO 14644-1 требуют конкретных измерений и расчетов количества частиц для классификации уровня чистоты чистой комнаты или чистой зоны. В Соединенном Королевстве для классификации чистых помещений используется Британский стандарт 5295. Этот стандарт вскоре будет заменен на BS EN ISO 14644-1. Чистые помещения классифицируются в соответствии с количеством и размером частиц, допустимых на объем воздуха. Большие числа, такие как «Класс 100» или «Класс 1000», относятся к стандарту FED_STD209E, представляющему допустимое количество частиц размером 0,5 мм или более на кубический фут воздуха.