Стандартизация чистых помещений

В США до конца ноября 2001 года для определения требований к чистым помещениям использовался федеральный стандарт 209E (FED-STD-209E). 29 ноября 2001 г. эти стандарты были заменены публикацией спецификации ISO 14644-1. Обычно чистое помещение, используемое для производства или научных исследований, представляет собой контролируемую среду с низким уровнем загрязнений, таких как пыль, переносимые по воздуху микробы, аэрозольные частицы и пары химических веществ. Точнее, в чистом помещении существует контролируемый уровень загрязнения, который определяется количеством частиц на кубический метр при заданном размере частиц. В типичной городской среде наружный воздух содержит 35 миллионов частиц на кубический метр диаметром 0,5 микрона или больше, что соответствует чистому помещению ISO 9 на самом низком уровне стандарта чистого помещения. Чистые помещения классифицируются по чистоте воздуха. В Федеральном стандарте США 209 (от A до D) количество частиц размером 0,5 мм или более измеряется в 1 кубическом футе воздуха, и это количество используется для классификации чистых помещений. Эта метрическая номенклатура также принята последней версией стандарта 209E. Китай использует федеральный стандарт 209E. Более новым стандартом является TC 209 Международной организации по стандартизации. Оба стандарта классифицируют чистые помещения на основе количества частиц в лабораторном воздухе. Стандарты классификации чистых помещений FS 209E и ISO 14644-1 требуют конкретных измерений и расчетов количества частиц для классификации уровня чистоты чистого помещения или чистой зоны. В Великобритании для классификации чистых помещений используется британский стандарт 5295. Этот стандарт вскоре будет заменен BS EN ISO 14644-1. Чистые помещения классифицируются по количеству и размеру частиц, допустимых в объеме воздуха. Большие числа, такие как «Класс 100» или «Класс 1000», относятся к FED_STD209E и обозначают количество частиц размером 0,5 мм или более, разрешенное на кубический фут воздуха.