РЕШЕНИЕ BSLtech Semiconductor
Для развития вашего опыта в полупроводниковой промышленности часто требуются чистые помещения или ламинарные шкафы с высоким классом ISO (ISO 5 или выше). Вы имеете дело с процессами, чувствительными к УФ-излучению? Даже в этом случае BSL предоставит подходящее чистое помещение. В чистых помещениях качественная отделка стен и освещение с УФ-фильтром. Благодаря использованию антистатических (ESD) материалов и антистатических решеток в системе фильтров статический заряд в воздухе нейтрализуется.
Если дегазация нежелательна, BSL предлагает чистое помещение из невыделяющих газ материалов (ПУ). Эта технология берет свое начало в аэрокосмической промышленности.
Типичные процессы в полупроводниковой промышленности:
● Защита подложек и кремниевых пластин.
● EUV-исследование
● выравниватели масок
● Вакуумное покрытие, нанесение тонкой пленки.
● Приложения для печати.
● Оптика
Фронтенд и бэкенд процессы