
РЕШЕНИЕ BSLtech Semiconductor
Развитие вашего опыта в полупроводниковой промышленности часто требует чистых помещений или ламинарных боксов с высоким классом ISO (ISO 5 или выше). Вы имеете дело с чувствительными к УФ-излучению процессами? Даже в этом случае BSL поставляет подходящее чистое помещение. Чистые помещения имеют высококачественную отделку стен и оснащены освещением с УФ-фильтром. Благодаря использованию антистатических (ESD) материалов и антистатических планок в системе фильтрации статический заряд в воздухе нейтрализуется.
Если дегазация нежелательна, BSL предлагает чистую комнату из негазирующих материалов (PU). Эта технология берет свое начало в аэрокосмической промышленности.
Типичные процессы в полупроводниковой промышленности:
● Защита подложек и кремниевых пластин
● Исследования EUV
● Маскирующие элайнеры
● Вакуумное покрытие, нанесение тонких пленок
● Приложения для печати
● Оптика
Фронтенд и бэкенд процессы